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[ 一般理化儀器 | 數位式旋轉塗佈機_TW ]

光阻塗佈機 / 桌上型數位式旋轉塗佈機 / Photo Resist Spinner

 

Model:SP-03

數位式旋轉塗佈機 光阻塗佈機
桌上型數位式旋轉塗佈機

觸控可程式光阻塗佈機

  規格說明:
   
機台尺寸:
400Wx450Dx550H
   
本體材質:
P.P板一體成型
   
塗佈範圍:
1/2〞~ 8〞,隨機附1/2”、1”治具(2〞~ 8〞選購)
   
控制面板:
6”觸控式薄膜液晶面板
   
旋轉馬達:
直流馬達150W含DC驅動器
   
旋轉數精度:
<1%轉以內
   
旋轉時間:
0~999.9秒,每段皆可設定
   
加速度:

300~2000/秒,每段皆可設定

   
氮氣充填:
0~999.9秒,每段皆可設定
   
光阻充填:
0~999.9秒,每段皆可設定
   
記憶模組:
21組程式
   
轉數設定:
22 Step
   
轉數設定:
300~8000rpm,每段皆可設定
   
樣品台:
真空吸著式
   
控制項目:
旋轉馬達的迴轉數,迴轉時間,加速度參數設定,真空值Kpa設定
   
緊急停止裝置:
真空值保護可設定,迴轉中若低於設定會緊急停止
   
操作腔體:
不袗內徑26cm /旋鈕快拆式腔體設計/分離式上蓋/易於清潔清洗廢液回收
   
特殊需求:
各式治具訂製
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update: 2017-10-19